图书介绍

硅材料质量与硅器件工艺【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

上海科学技术文献出版社编著
出版社：上海：上海科学技术文献出版社
ISBN：15192·23
出版时间：1979
标注页数：171页
文件大小：37MB
文件页数：174页
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图书目录

目录1

1．国外半导体硅单晶及其质量上海有色金属研究所夏锦禄1

2．硅晶片的切磨抛工艺中国科学院上海冶金研究所王自筠12

3．硅烷外延复旦大学张冠生23

4．诱生缺陷与硅器件性能中国科学院上海冶金研究所杨传铮田佩兰34

5．杂质吸收效应上海半导体器件研究所王儒全72

6．硅－二氧化硅界面态复旦大学王迅82

7．硅材料测试方法的几点改进上海科学技术大学曹泽淳92

8．汞探针容－压法硅外延测试上海元件五厂、复旦大学包宗明98

9．汞探针C-V测试在硅外延生产及元件工艺中的作用上海元件五厂、复旦大学包宗明104

10．扩展电阻法的基本原理及其应用复旦大学张敬海111

11．X射线貌相术及其在半导体材料和器件中的应用中国科学院上海冶金研究所杨传铮125