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1.1 扫描电镜的基本特点1

第一章 扫描电镜的基本特点与结构1

1.2 扫描电镜的基本结构3

1.2.1 电子枪4

1.2.2 电子透镜5

1.2.3 扫描系统7

1.2.4 消象散装置8

1.2.5 检测器9

1.2.6 真空系统11

2.1 电子束与样品的相互作用12

第二章 扫描电镜的成象原理12

2.2 二次电子成象14

2.3 背散射电子成象15

2.4 吸收电流象18

第三章 X射线的产生与X射线的特性18

3.1 X射线的产生18

3.2 特征X射线19

3.3 X射线被物质的吸收22

3.4 吸收边与荧光激发23

4.2 波长色散谱仪(WDS)25

4.2.1 基本结构25

第四章 X射线的测量：WDS和EDS25

4.1 引言25

4.2.2 X射线检测器31

4.2.3 检测器电子线路33

4.3 能量色散X射线谱仪(EDS)43

4.3.1 工作原理43

4.3.2 检测过程43

4.3.3 检测过程中的假象48

4.3.4 主放大器和脉冲堆积的去除56

4.3.5 来源于检测器环境的假象65

4.3.6 多道脉高分析器77

4.3.7 EDS工作与假象的小结85

4.4.1 几何收集效率86

4.4 WDS与EDS的对比86

4.4.2 量子效率87

4.4.3 分辨率88

4.4.4 可接收的谱线范围90

4.4.5 最大计数率91

4.4.6 最小电子束尺寸91

4.4.7 分析速度93

4.4.8 谱线假象94

附录：新检测器的安装与检验94

第五章 X射线定性分析98

5.1 概述98

5.2.1 X射线谱线101

5.2 EDS定性分析101

5.2.2 EDS定性分析的指南105

5.2.3 EDS定性分析中的峰重叠问题112

5.2.4 EDS定性分析实例114

5.3 WDS定性分析117

5.3.1 X射线的测量117

5.3.2 WDS定性分析一般原则123

5.4 X射线扫描125

第六章 X射线微区分析的定量131

6.1 引言131

6.2.1 引言132

6.2 ZAF修正技术132

6.2.2 吸收因子A134

6.2.3 原子序数因子Z143

6.2.4 特征荧光修正因子F150

6.2.5 连续荧光修正153

6.2.6 ZAF技术讨论小结155

6.3 经验方法160

6.4 电子束非垂直入射的定量分析165

6.5 微粒与粗糙表面的分析168

6.5.1 几何效应168

6.5.2 几何效应的补偿177

6.5.3 总结181

6.6 薄膜与薄片的分析183

6.6.1 薄片183

6.6.2 载体上的薄膜185

6.7 生物样品的定量分析195

6.7.1 引言195

6.7.2 分析期间的质量损失与假象197

6.7.3 块状样品198

6.7.4 大块载体上的厚切片202

6.7.5 薄切片202

6.7.6 连续谱法205

6.7.7 很薄支持膜上的厚样品210

6.7.8 微液滴211

6.7.9 标样212

6.7.10 结论214

附录A：连续谱方法214

附录B：生物材料定量分析实例220

第七章 X射线微区分析的实际技术228

7.1 数据处理的一般考虑：228

7.2 背底的形状231

7.2.1 背底的模式232

7.2.2 背底的滤波239

7.3 峰的重叠244

7.3.1 线性246

7.3.2 拟合247

7.3.3 线性方法248

7.3.4 非线性方法257

7.3.5 误差估计261

7.4 死时间修正264

7.5 定量分析实例265

7.6 X射线微区分析的精度和灵敏度268

7.6.1 计算精度和灵敏度的统计学基础268

7.6.2 样品的均匀性269

7.6.3 分析灵敏度272

7.6.4 微量元素分析273

7.7 轻元素分析277

第八章 材料样品的制备285

8.1 材料和陶瓷285

8.1.1 扫描电镜286

8.1.2 X射线微区分析286

8.2 微粒和纤维290

8.3 含水的材料296

8.3.1 土壤296

8.3.2 聚合物297

9.1 序言298

9.1.1 样品的性质298

第九章 在SEM和X射线微区分析中的喷镀技术298

9.3 离子溅射喷镀300

9.1.2 喷镀的选择302

9.1.3 薄膜技术303

9.2 热蒸发303

9.2.1 高真空蒸发304

9.2.2 低真空蒸发309

9.3.1 离子束溅射311

9.3.2 二极管或直流溅射(DC)311

9.3.3 低温二极管溅射313

9.3.4 溅射技术313

9.3.5 靶的选择314

9.3.6 喷镀的厚度315

9.3.7 离子溅射喷镀的优点315

9.3.8 溅射喷镀伴随产生的假象316

9.4 特殊喷镀方法317

9.4.1 高分辨喷镀317

9.4.2 低温喷镀318

9.5 喷镀厚度的测量319

9.5.1 喷镀后的测定319

9.5.2 移去喷镀层320

第十章 扫描电镜生物样品的制备321

10.1 序言321

10.2.1 模拟样品台322

10.2 电镜的改进322

10.2.2 非最佳电镜性能的利用323

10.3 样品的改进324

10.3.1 光镜和电镜的对照观察324

10.3.2 样品的挑选325

10.3.3 样品的清洁326

10.3.4 样品的粘固327

10.3.5 提示内表面329

10.3.6 已知生理活性的区域定位333

10.3.7 样品的脱水335

10.3.8 样品的支撑339

10.3.10 重金属的导入340

10.3.9 样品的导电性340

10.3.11 赝象和解释341

第十一章 X射线微区分析时生物样品的制备345

11.1 序言345

11.1.1 问题的性质和困难：345

11.1.2 X射线微区分析的应用347

11.1.3 X射线微区分析研究的类型347

11.1.4 生物样品的类型348

11.1.5 策略350

11.1.6 关于良好样品制备的标准351

11.2.2 固定352

11.2 常温下的制备过程352

11.2.1 固定前352

11.2.3 组织化学技术353

11.2.4 沉淀技术354

11.2.5 脱水355

11.2.6 包埋356

11.2.7 切片和断裂356

11.2.8 样品的支撑357

11.2.9 样品的染色357

11.2.10 样品的喷镀357

11.3.1 样品的预处理358

11.3 低温样品制备358

11.3.2 冷冻过程360

11.3.3 冷冻-含水或局部冷冻-含水材料361

11.3.4 冷冻干燥361

11.3.5 冷冻置换366

11.3.6 切片369

11.3.7 断裂370

11.4 微区灰化371

第十二章 扫描电镜观察和X 射线微区分析的实践373

第十三章 基本数据表378

第十四章 主要参考文献420